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蔡 昉
    中国社会科学院国家高端智库首席专家,学部委员,学部主席团秘书长,研究员,博士生导师。先后毕业于中国人民大学、中国... 详情>>
李培林
    男,汉族,出生于1955年5月,山东济南人,博士,研究员,全国人民代表大会社会建设委员会副主任委员,中国社会科学... 详情>>

    三维硅通孔堆叠封装技术发展现状及趋势

    摘要

    在“摩尔定律”即将失效的当下,芯片的功能密度已达到二维封装技术的极限,三维堆叠封装已成为保持半导体产业高速发展的重要途径之一。三维封装能够进一步提升晶体管密度、缩小尺寸、缩短连线、降低功耗、提升高频性能等,而基于硅通孔(TSV)互连技术的三维堆叠封装是堆叠封装的未来发展方向。首先实现三维堆叠应用的器件是存储器,未来将在高中低端应用同步推进发展,整合器件制造商、封测代工厂、制造代工厂将纷纷涉足,产业体系将逐步完善。

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    Abstract

    As the Moore’s Law is about to fail,the functional density of the chip has reached the limit of two-dimensional packaging technology. Three-dimensional stacked packaging has become one of the important ways to maintain the rapid development of the semiconductor industry. Three-dimensional packaging can further enhance the transistor density,reduce size,shorten the connection,reduce power consumption,improve high-frequency performance,etc. The three-dimensional stacking packaging of connecting technology is the ultimate development direction of stacking packaging. The first device to realize three-dimensional stacked applications is memory. In the future,high,middle and low-end applications will be developed synchronously. The number of vertical integrators,packaging and testing factories,manufacturing factories and other enterprises will be further increased,and the industrial system will be gradually improved.

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    作者简介
    贾丹:贾丹,国家工业信息安全发展研究中心(工业和信息化部电子第一研究所)工程师,研究方向为集成电路、半导体、电子信息等。
    张洁雪:张洁雪,国家工业信息安全发展研究中心(工业和信息化部电子第一研究所)工程师,研究方向为人工智能、信息服务等。
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